不能!
同步辐射光的特性
(1)宽波段同步辐射光的波长覆盖面大,具有从远红外、可见光、紫外直到 X射线范围内的连续光谱,并且能根据使用者的需要获得特定波长的光。
(2)高准直同步辐射光的发射集中在以电子运动方向为中心的一个很窄的圆锥内,张角非常小,几乎是平行光束,堪与激光媲美。
(3)高偏振从偏转磁铁引出的同步辐射光在电子轨道平面上是完全的线偏振光,此外,可以从特殊设计的插入件得到任意偏振状态的光 。
(4)高纯净与高亮度高纯净:同步辐射光是在超高真空中产生的,不存在任何由杂质带来的污染,是非常纯净的光。
(5)高亮度:同步辐射光源是高强度光源,有很高的辐射功率和功率密度。
另外,不单单是光的问题,压电陶瓷实现亚纳米级机械运动,光刻胶的敏感光波长与精度,旋涂机的旋涂成效,wafer的干净程度,烘烤,刻蚀的时间,刻蚀所需要的等离子气体的产生。
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