ASML：荷兰公司，是目前全球最大的光刻机生产商，占据了市场份额的近80%。
Nikon：日本公司，是另一个大型的光刻机制造商，占据了全球市场份额的一部分。
Canon：日本公司，也是光刻机制造商之一，其光刻机主要用于生产LCD显示器和光纤通讯器件等。
Samsung：韩国公司，也在光刻机制造领域有所涉及，其光刻机主要用于生产DRAM和NAND闪存器件等。
Intel：美国公司，也在光刻机制造领域有所涉及，其光刻机主要用于生产微处理器和存储器件等。
除此之外，还有一些其他的光刻机制造商，如中国的微电子集团、荷兰的光影集团等。
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