目前有几家国产光刻机企业，以下是其中一些主要的国产光刻机企业：
中微半导体设备（微电子集团）：是中国大陆唯一的光刻机制造商，已经推出了一系列的光刻机产品，包括NAURA 45、NAURA 60等，目前在国内市场占有一定的份额。
贝格光刻：是一家由前ASML员工创办的中国光刻机公司，其光刻机产品主要面向LCD显示器和晶圆制造等领域。
光影集团：是一家总部位于荷兰的公司，在中国设有研发和生产基地。光影集团主要生产高端光刻机和光刻机配件等产品。
星辉光学：是一家位于江苏苏州的光学公司，其光刻机产品主要面向半导体和光通信等领域。 以上是目前国内一些较为知名的光刻机企业，随着中国半导体产业的快速发展，国内的光刻机企业也在加快发展步伐，并在逐步提高技术水平和市场份额。
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